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发明名称 CRYOPUMP
摘要
申请公布号 JPH07158562(A) 申请公布日期 1995.06.20
申请号 JP19930303959 申请日期 1993.12.03
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 MATSUI YUTAKA;JIYO BINSEI
分类号 F04B37/08;F04B37/16;(IPC1-7):F04B37/08 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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