发明名称 |
METHOD FOR PRODUCTION OF EPITAXIAL STRUCTURES ON GALLIUM ARSENIDE SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
RU1800856(C) |
申请公布日期 |
1995.06.19 |
申请号 |
SU19904837560 |
申请日期 |
1990.05.16 |
申请人 |
NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT "PULSAR" |
发明人 |
ZAKHAROV A.A.;NESTEROVA M.G.;PASHCHENKO E.B.;SHUBIN A.E. |
分类号 |
C30B25/02;C30B29/40;(IPC1-7):C30B25/02 |
主分类号 |
C30B25/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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