发明名称 METHOD FOR PRODUCTION OF EPITAXIAL STRUCTURES ON GALLIUM ARSENIDE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 RU1800856(C) 申请公布日期 1995.06.19
申请号 SU19904837560 申请日期 1990.05.16
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT "PULSAR" 发明人 ZAKHAROV A.A.;NESTEROVA M.G.;PASHCHENKO E.B.;SHUBIN A.E.
分类号 C30B25/02;C30B29/40;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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