发明名称 METHOD OF PROTECTION OF ULTRA-PURE SURFACES
摘要
申请公布号 RU2037746(C1) 申请公布日期 1995.06.19
申请号 SU19915006148 申请日期 1991.11.01
申请人 INZHENERNYJ TSENTR "PLAZMODINAMIKA" 发明人 KULIK PAVEL P
分类号 F24F13/06;(IPC1-7):F24F13/06 主分类号 F24F13/06
代理机构 代理人
主权项
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