发明名称 METHOD FOR FORMING GATE ELECTRODE HAVING POLYSIDE STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH07153953(A) 申请公布日期 1995.06.16
申请号 JP19940098773 申请日期 1994.05.12
申请人 GENDAI DENSHI SANGYO KK 发明人 BOKU SOUKUN;TEI KOUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/335;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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