发明名称 MULTILAYER ELECTROSTICTIVE ACTUATOR
摘要
申请公布号 JPH07154005(A) 申请公布日期 1995.06.16
申请号 JP19930325966 申请日期 1993.11.29
申请人 TOKIN CORP 发明人 SATO HIROFUMI
分类号 H01L41/083;(IPC1-7):H01L41/083 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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