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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH07151831(A)
申请公布日期
1995.06.16
申请号
JP19930299831
申请日期
1993.11.30
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
TAKEDA AKIRA
分类号
G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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