SUSCEPTER DEVICE,申请号JP19940115528-传众专利搜索

发明名称	SUSCEPTER DEVICE
摘要
申请公布号	JPH07153706(A)	申请公布日期	1995.06.16
申请号	JP19940115528	申请日期	1994.05.27
申请人	APPLIED MATERIALS INC	发明人	ARIGA MICHIO;OOKURA ATSUNOBU;SAITO AKIHIKO;SUZUKI KENJI;TAGUCHI KENICHI;DEIRU ROBAATO DEYU BOISU;ARAN FUERISU MORISON
分类号	C30B29/06;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/50;H01L21/205;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	C30B29/06
代理机构		代理人
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