发明名称 ELECTROMAGNET DEVICE FOR CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 JPH07153406(A) 申请公布日期 1995.06.16
申请号 JP19930300342 申请日期 1993.11.30
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 KAWAI TEI
分类号 C23C14/48;H01J37/141;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/141 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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