发明名称 WIRE PATTERN INSPECTOR
摘要
申请公布号 JPH07151699(A) 申请公布日期 1995.06.16
申请号 JP19930296500 申请日期 1993.11.26
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUMOTO SATOSHI
分类号 G01N21/88;G01N21/956;H05K3/00;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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