| 发明名称 |
LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07153708(A) |
申请公布日期 |
1995.06.16 |
| 申请号 |
JP19930298829 |
申请日期 |
1993.11.30 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
KOYA KENICHI;HIDAKA MIZUE |
| 分类号 |
C30B19/00;H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/208 |
主分类号 |
C30B19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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