| 发明名称 |
DETECTING HEAD FLOATING AMOUNT MEASURING DEVICE AND MEASURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07151521(A) |
申请公布日期 |
1995.06.16 |
| 申请号 |
JP19930323289 |
申请日期 |
1993.11.29 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
NAMIKAWA TOSHIYUKI;SHIBUYA MASATO |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/14;G11B5/455;(IPC1-7):G01B11/14 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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