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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07153776(A) 申请公布日期 1995.06.16
申请号 JP19930298189 申请日期 1993.11.29
申请人 CANON INC 发明人 TSUDA HISANORI
分类号 H01L29/73;H01L21/20;H01L21/331;H01L21/84;H01L29/205;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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