发明名称 |
PROPERTY MEASURING SYSTEM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07151837(A) |
申请公布日期 |
1995.06.16 |
申请号 |
JP19940156387 |
申请日期 |
1994.06.16 |
申请人 |
TEKTRONIX INC |
发明人 |
MIHAIRU KEE RABERU;MAIKERU DEII JIYOONZU;SUTEIIBUN EICHI PETSUPAA |
分类号 |
G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/302 |
主分类号 |
G01R31/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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