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发明名称 SEMICONDUCTOR ELEMENT MOUNTING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH07153782(A) 申请公布日期 1995.06.16
申请号 JP19930297189 申请日期 1993.11.29
申请人 NEC CORP 发明人 KURIHARA MITSURU
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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