| 发明名称 |
Process for the vapor deposition of polysilanes |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HK90595(A) |
申请公布日期 |
1995.06.16 |
| 申请号 |
HK19950000905 |
申请日期 |
1995.06.08 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
DOBUZINSKY DAVID M;HAKEY MARK C;HOLMES STEVEN J;HORAK DAVID V |
| 分类号 |
C08G77/06;C08G77/48;C08G77/60;C09D183/00;C09D183/16;C23C14/14;C23C14/24;G03F7/075;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/312;(IPC1-7):G03F7/075 |
主分类号 |
C08G77/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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