| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR EXTRACTING ION FROM PLASMA BY HIGH FREQUENCY WAVE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07153404(A) |
申请公布日期 |
1995.06.16 |
| 申请号 |
JP19930301617 |
申请日期 |
1993.12.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;LASER NOSHUKU GIJUTSU KENKYU KUMIAI |
发明人 |
MATSUI TETSUYA;TSUCHIDA KAZUTERU;TSUDA SHINJI;SUZUKI KAZUMICHI |
| 分类号 |
H01J27/18;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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