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发明名称 Rastertunnelmikroskop mit einer Vorrichtung zum Berichtigen von Oberflächendaten.
摘要
申请公布号 DE3853155(T2) 申请公布日期 1995.06.14
申请号 DE19883853155T 申请日期 1988.09.22
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HOSAKA, SUMIO, NISHITAMA-GUN TOKYO 190-01, JP;HOSOKI, SHIGEYUKI, TOKYO 192, JP;TAKATA, KEIJI, SAITAMA 359, JP;OHTAKE, MASATOSHI, TOKYO 198, JP;TOOYAMA, HIROSHI, TOKYO 192-03, JP;KONDOU, HITOSHI, HACHIOJI-SHI TOKYO 192, JP
分类号 G01B7/34;G11B9/00;G11B11/00;(IPC1-7):G01B7/34;H01J37/20;H01J37/28;G01N23/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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