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发明名称 Steuergerät für die Dicke einer Schicht.
摘要
申请公布号 DE68922510(D1) 申请公布日期 1995.06.14
申请号 DE19896022510 申请日期 1989.02.17
申请人 MITSUBISHI JUKOGYO K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 AKASAKA, NORIYUKI NAGOYA TECH. INST. MITSUBISHI, NAKAMURA-KU NAGOYA AICHI PREF., JP
分类号 B29C47/92;G05B13/02;G05D5/03;(IPC1-7):G05D5/03 主分类号 B29C47/92
代理机构 代理人
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