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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung.
摘要
申请公布号 DE68919549(T2) 申请公布日期 1995.06.14
申请号 DE1989619549T 申请日期 1989.06.23
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL 发明人 BELLERSEN, MICHAEL FRIEDRICH BRUNO, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;GOOTZEN, WILHELMUS FRANCISCUS MARIE, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;VAN LAARHOVEN, JOSEPHUS MARTIN FRANCISCUS GERARDUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;DOAN, TRUNG TRI, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/033;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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