| 发明名称 |
DEVICE FOR PRODUCING SILICON DIOXIDE COATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07149511(A) |
申请公布日期 |
1995.06.13 |
| 申请号 |
JP19930321259 |
申请日期 |
1993.11.26 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
HORIE KUNIAKI;SAITO HARUMITSU |
| 分类号 |
C01B33/12;C23C18/00;H01L21/316;(IPC1-7):C01B33/12 |
主分类号 |
C01B33/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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