DEVICE FOR LOCKING FLAT ANNULAR DISC SUBSTRATE TO SUBSTRATE SUPPORTING PAN OF VACUUM FILM FORMER,申请号JP19940228388-传众专利搜索

发明名称	DEVICE FOR LOCKING FLAT ANNULAR DISC SUBSTRATE TO SUBSTRATE SUPPORTING PAN OF VACUUM FILM FORMER
摘要
申请公布号	JPH07150350(A)	申请公布日期	1995.06.13
申请号	JP19940228388	申请日期	1994.09.22
申请人	LEYBOLD AG	发明人	YAROSURAFU TSUEEDA
分类号	C23C14/50;C23C14/56;G11B17/028;(IPC1-7):C23C14/50	主分类号	C23C14/50
代理机构		代理人
主权项
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