发明名称 ION BEAM PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07148582(A) 申请公布日期 1995.06.13
申请号 JP19930299507 申请日期 1993.11.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 ONUKI HISAO;OISHI SEITARO
分类号 B23K15/00;B23K15/06;(IPC1-7):B23K15/00 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
主权项
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