发明名称 |
VACUUM TREATING DEVICE AND FILM FORMING DEVICE AND FILM FORMING METHOD USING THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07150353(A) |
申请公布日期 |
1995.06.13 |
申请号 |
JP19940165622 |
申请日期 |
1994.07.18 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KISHIMOTO SATOSHI;KOBAYASHI HIDE;OKAMOTO AKIRA;SHIMAMURA HIDEAKI;TSUJIKU SUSUMU;NISHITANI EISUKE;YONEOKA YUJI |
分类号 |
C23C14/54;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/54 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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