| 主权项 |
1.一种雷射光束波长的检测方法,其特征为参考雷 射振荡 光束和待测的雷射振荡光束被导入干涉仪,从干涉 仪导出 的两雷射振荡光束所引起的同心圆形干涉纹辐照 到一维光 检波阵列,以便测量由参考雷射振荡光束所引起的 同心圆 形干涉纹之直径或弦的长度及由待测雷射振荡光 束所引起 的同心圆形干涉纹之直径或弦的长度,将两者的比 例乘以 参考振荡光束的波长,藉此测量该待测的雷射振荡 光束的 波长。2.如申请专利范围第1项之方法,其中测量由 参考雷射振 荡光束所引起的同心圆形干涉纹之直径或弦的长, 及由待 测雷射振荡光束所引起的同心圆形干涉纹之直径 或弦的长 度,将两者的比例乘以参考雷射振荡光束的波长, 以便利 用算术装置自动测量该待测的雷射振荡光束的波 长。3.一种雷射光束波长的检测装置,其特征为包 括一参考雷 射设备,用来发射参考雷射振荡光束;一个干涉仪 用来从 该雷射设备接受和导出参考雷射振荡光束及待测 的雷射振 荡光束;一个安置在干涉仪所导出各雷射振荡光束 一边的 一维光检波阵列;用来测量辐照在该一维光检波阵 列上的 各同心圆形干涉纹的位置的位置测量装置;以及自 动测定 该待测雷射振荡光之波长的演算装置;该一维光检 波阵列 配置在包括有干涉仪所导出同心圆干涉纹之直径 或弦部分 之位置;该位置测量装置不仅测定辐照在一维光检 波阵列 上之参考雷射振荡光所引起之同心圆形干涉纹之 第1位置 ,藉以获得此干涉纹之直径或弦之长度;亦测定位 于连接 该所测位置之一线上之待测雷射振荡光所引起之 同心圆形 干涉纹之第2位置,藉以获得此干涉纹之直径或弦 之长度 ;该演算装置用来算出参考雷射振荡光所引起同心 圆形干 涉纹之直径或弦之长度与待测雷射振荡光所引起 同心圆形 干涉纹之直径或弦之长度的比率,并将此比率乘以 参考雷 射振荡光之波长,以获得待测雷射振荡光之波长。 第一到 第四图显示本发明的具体结构。第一图显示第一 具体结构 装置的侧面图;第二图显示装置的操作原理,显示 同心圆 形干涉纹与一维光检波列输出分布之间的关系;第 三图显 示在第二具体结构装置的侧面图;第四图显示装置 的操作 原理,显示同心圆形干涉纹与一维光检波阵列输出 分布之 间的关系;及第五图显示一个传统用来检测雷射光 束波长 的方法,显示同心圆形干扰条带与一维光检波阵列 输出分 |
