DIELECTRIC TARGETS SURFACES VACUUM TREATMENT METHOD,申请号SU19874346345-传众专利搜索

发明名称	DIELECTRIC TARGETS SURFACES VACUUM TREATMENT METHOD
摘要
申请公布号	RU1580852(C)	申请公布日期	1995.06.09
申请号	SU19874346345	申请日期	1987.12.21
申请人	NAUCHNYJ FIZIKO-TEKHNOLOGICHESKIJ TSENTR	发明人	ZYKOV A.V.;KACHANOV YU.A.;MARUSHCHENKO N.B.;FARENIK V.I.;YUNAKOV N.N.
分类号	C23C14/00;(IPC1-7):C23C14/00	主分类号	C23C14/00
代理机构		代理人
主权项
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