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发明名称 Turbomolekularpumpe.
摘要
申请公布号 DE69109398(D1) 申请公布日期 1995.06.08
申请号 DE1991609398 申请日期 1991.08.09
申请人 EBARA CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KANEMITSU, YOICHI, CHIGASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;SHIRAO, YUJI, KOHZA-GUN, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 F04D19/04;F04D29/048;F04D29/056;F16C32/04;F16C39/02;F16C39/06;H02K7/09;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
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