发明名称 Verfahren zum Herstellen einer eine Mesa aufweisenden Halbleiteranordnung.
摘要
申请公布号 DE69109345(D1) 申请公布日期 1995.06.08
申请号 DE19916009345 申请日期 1991.02.15
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL 发明人 AMBROSIUS, HUBERTUS PETRUS MECHTILDUS MARIA, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;BOERRIGTER-LAMMERS, HELENA JOHANNA MARIA, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L21/203;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L31/10;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/227;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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