发明名称 Verfahren zum Herstellen einer integrierten Schaltung einschliesslich Schritte zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Schichten.
摘要
申请公布号 DE68922474(D1) 申请公布日期 1995.06.08
申请号 DE1989622474 申请日期 1989.12.04
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL 发明人 VILLALON, CLAUDINE, F-75007 PARIS, FR
分类号 H01L21/3205;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/73;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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