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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Ionenätzung.
摘要
申请公布号 DE3750808(T2) 申请公布日期 1995.06.08
申请号 DE19873750808T 申请日期 1987.12.10
申请人 DOBSON, CHRISTOPHER DAVID, LITTLETON-UPON-SEVERN, BRISTOL, GB 发明人 KEEBLE, FRANK, BRISTOL, BS12 1NP, GB
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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