| 发明名称 | 蓝宝石平面上的氧化锌压电晶体膜 | ||
| 摘要 | 一种氧化锌压电晶体膜，由溅射法外延生长于R-平面蓝宝石衬底上时，使用含相对于Zn和Cu的总量为不大于4.5％(重量)的Cu的靶极，就可使该氧化锌压电晶体膜含铜。这样，就可获得一种具有优异取向的氧化锌压电晶体膜。 | ||
| 申请公布号 | CN1103513A | 申请公布日期 | 1995.06.07 |
| 申请号 | CN94109460.X | 申请日期 | 1994.08.05 |
| 申请人 | 株式会社村田制作所 | 发明人 | 小池纯;家木英治 |
| 分类号 | H01L41/18;H01L41/22;C30B25/00;C30B23/00 | 主分类号 | H01L41/18 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 刘立平 |
| 主权项 | 1、一种外延生长于蓝宝石表面的(1120)-平面氧化锌压电晶体膜，该蓝宝石表面实质上平行于其(0112)-平面，其特征在于：所述氧化锌压电晶体膜含有对Zn和Cu的总量不大于4.5%(重量)的Cu。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||