| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCING MEMORY CELL HAVING STACKED CAPACITOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR950005969(B1) |
申请公布日期 |
1995.06.07 |
| 申请号 |
KR19860009842 |
申请日期 |
1986.11.21 |
| 申请人 |
HITACHI LTD. |
发明人 |
KIMURA, SHINICHIRO;SUNAMI, HIDEO |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/04 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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