发明名称 | 汽相淀积金刚石的方法 | ||
摘要 | 汽相淀积金刚石的方法:在热等离子体化学汽相淀积装置的阴阳极之间通入放电气的同时进行电弧放电;通过向形成的等离子流中加入气态碳化物使气态碳化合物自由基化;以及使所述的自由基化的等离子流碰撞待处理的基片,从而在所述基片上形成一层金刚石膜。 | ||
申请公布号 | CN1028772C | 申请公布日期 | 1995.06.07 |
申请号 | CN88101737.X | 申请日期 | 1988.04.02 |
申请人 | 富士通株式会社 | 发明人 | 栗原和明;佐佐木谦一;河原田元信;越野长明 |
分类号 | C23C16/26;C23C16/50 | 主分类号 | C23C16/26 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 陈季壮 |
主权项 | 1.一种汽相淀积金刚石的方法,该方法包括如下步骤:(i)在一热等离子体化学汽相淀积装置的阴极与至少一个阳极之间充入一种放电气体的同时进行直流电弧放电从而产生一种等离子射流;(ii)通过往等离子流中加入氢和气态碳化合物使氢与气态碳化合物自由基化,以及(iii)使所述自由基化等离子流碰撞待处理的基片,从而在基片上形成一层金刚石膜,其中通过碰撞基片使其冷却或通过往等离子流中吹入冷却气体等离子流骤冷,以便形成含有高浓度自由基的活性非平衡等离子体。 | ||
地址 | 日本国神奈川县 |