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发明名称 Apparatus and method for shielding a workpiece holding mechanism from depreciative effects during workpiece processing.
摘要
申请公布号 EP0562784(B1) 申请公布日期 1995.06.07
申请号 EP19930302127 申请日期 1993.03.22
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 MUMOLA, PETER B.
分类号 C23F1/08;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/68;H01L21/683;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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