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发明名称 HIGH SPEED ATOM BEAM GENERATION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH07146399(A) 申请公布日期 1995.06.06
申请号 JP19930318926 申请日期 1993.11.25
申请人 EBARA CORP 发明人 KANEKO KAZUHIKO;HATAKEYAMA MASAKI;SATAKE TORU
分类号 G21K5/04;(IPC1-7):G21K5/04 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
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