发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH07144992(A) 申请公布日期 1995.06.06
申请号 JP19930316013 申请日期 1993.11.22
申请人 KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD 发明人 SHIBATA MASAHIRO;SUGITA FUMITADA;KAWASHIMA SHIGEKI;FUKUDA NOBUYUKI
分类号 C30B15/00;C30B15/20;H01L21/02;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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