| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON DIOXIDE FILM AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07145484(A) |
申请公布日期 |
1995.06.06 |
| 申请号 |
JP19930314322 |
申请日期 |
1993.11.19 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
KOGURE NAOAKI;KAWAMURA SATOSHI;SAITO HARUMITSU;TATEISHI KUNIO |
| 分类号 |
C03C15/00;C03C17/25;C23C18/00;H01L21/316;(IPC1-7):C23C18/00 |
主分类号 |
C03C15/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
