发明名称 PHOTOELECTRIC LENGTH-MEASURING OR ANGLE-MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07146160(A) 申请公布日期 1995.06.06
申请号 JP19940145025 申请日期 1994.06.27
申请人 DR JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 BUORUFUGANGU HORUTSUAPUFUERU;ANDOREASU FURANTSU
分类号 G01D5/36;G01B11/02;G01B11/26;G01D5/38;H01L27/144;H01L27/15;H01L31/173;(IPC1-7):G01D5/36 主分类号 G01D5/36
代理机构 代理人
主权项
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