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发明名称 AIR FLOTATION CARRYING DEVICE HAVING TRAVELING CARRIAGE INPUTTING STATION
摘要
申请公布号 JPH07144755(A) 申请公布日期 1995.06.06
申请号 JP19930315943 申请日期 1993.11.22
申请人 HITACHI KIDEN KOGYO LTD 发明人 FURUKAWA SHOHEI
分类号 B60V3/04;B60L13/06;B65G51/03;B65G54/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G54/02 主分类号 B60V3/04
代理机构 代理人
主权项
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