发明名称
摘要
申请公布号 JPH0753630(B2) 申请公布日期 1995.06.07
申请号 JP19860229259 申请日期 1986.09.26
申请人 发明人
分类号 C30B13/02;C30B19/02;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/02 主分类号 C30B13/02
代理机构 代理人
主权项
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