发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR PLASMA VAPOR REACTION |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH07147252(A) |
申请公布日期 |
1995.06.06 |
申请号 |
JP19940191983 |
申请日期 |
1994.07.22 |
申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI |
分类号 |
C23C14/34;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306 |
主分类号 |
C23C14/34 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|