| 发明名称 |
CONTACT INSPECTION METHOD OF SILICON SINGLE CRYSTAL AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07144993(A) |
申请公布日期 |
1995.06.06 |
| 申请号 |
JP19930292954 |
申请日期 |
1993.11.24 |
| 申请人 |
SUMITOMO SITIX CORP |
发明人 |
TAKIUCHI KAORU;AKASHI YOSHIHIRO |
| 分类号 |
C30B15/28;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/28 |
主分类号 |
C30B15/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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