发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH07147232(A) 申请公布日期 1995.06.06
申请号 JP19930293692 申请日期 1993.11.24
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;CITIZEN WATCH CO LTD 发明人 SEKIKAWA TOSHIHIRO;ISHII KENICHI;AIHARA KATSUYOSHI
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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