发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07147461(A) 申请公布日期 1995.06.06
申请号 JP19930296456 申请日期 1993.11.26
申请人 NEC CORP 发明人 OSAWA YOICHI
分类号 H01L29/205;H01L21/20;H01L29/10;H01L29/267;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01L29/205
代理机构 代理人
主权项
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