| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR COATING WITH CHEMICALS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07142358(A) |
申请公布日期 |
1995.06.02 |
| 申请号 |
JP19930290745 |
申请日期 |
1993.11.19 |
| 申请人 |
TOSHIBA MACH CO LTD |
发明人 |
FUKUYAMA SATOSHI;OTOMO AKIHIRO;HONDA YASUAKI |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C5/00;B05C11/08;B05D1/40;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
