发明名称 FLOW RATE CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPH07141032(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930287890 申请日期 1993.11.17
申请人 NEC CORP 发明人 OKADA AKIRA
分类号 G01F1/00;G05D7/06;(IPC1-7):G05D7/06 主分类号 G01F1/00
代理机构 代理人
主权项
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