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发明名称 PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号 JPH07142776(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930286406 申请日期 1993.11.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMADA KOJI;KOMINAMI SHINYA;MITA REEKO
分类号 H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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