发明名称 PATTERN GENERATION OF IC TESTER
摘要
申请公布号 JPH07140211(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930307122 申请日期 1993.11.15
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 MIYAHARA KUNIHIKO
分类号 G01R31/3183;(IPC1-7):G01R31/318 主分类号 G01R31/3183
代理机构 代理人
主权项
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