发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07142428(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930309838 申请日期 1993.11.15
申请人 KANEGAFUCHI CHEM IND CO LTD 发明人 KOBAYASHI KENJI;TORIGOE TETSUO;OOHAYASHI TADASHI
分类号 H01L21/301;(IPC1-7):H01L21/301 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
地址