| 发明名称 |
CONVERGING ION BEAM DEVICE AND CHARGED PARTICLE DETECTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07142022(A) |
申请公布日期 |
1995.06.02 |
| 申请号 |
JP19930290229 |
申请日期 |
1993.11.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ISHITANI TORU;HIROSE HIROSHI;ARIMA YOSHIO |
| 分类号 |
H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244 |
主分类号 |
H01J37/244 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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