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发明名称 PROCEDE POUR ETABLIR DES CONTACTS SUR DES STRUCTURES CONDUCTRICES DANS DES CIRCUITS A TRES HAUTE DENSITE D'INTEGRATION.
摘要
申请公布号 FR2674371(B1) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 FR19920002279 申请日期 1992.02.27
申请人 SIEMENS AG 发明人 CHRISTIAN BURMER
分类号 H01L21/3105;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/268 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
主权项
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